LSK-600型离子蚀刻机的研制 |
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引用本文: | 周世敦,张本义,徐光耀,李素香,赵晓军.LSK-600型离子蚀刻机的研制[J].真空,1985(6). |
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作者姓名: | 周世敦 张本义 徐光耀 李素香 赵晓军 |
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作者单位: | 机械工业部沈阳真空技术研究所
(周世敦,张本义,徐光耀,李素香),机械工业部沈阳真空技术研究所(赵晓军) |
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摘 要: | 本文首先对离子蚀刻的原理和用途作了简短的介绍,接着介绍了LSK-600型离子蚀刻机的设计原 则和结构设计,最后介绍了蚀刻机的实验结果。
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