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| 衬底温度对ZnO薄膜特性的影响 | |
| 引用本文： | 郭茂田,田臻锋,陈兴科.衬底温度对ZnO薄膜特性的影响[J].应用激光,2006,26(1):26-28. |
| 作者姓名： | 郭茂田 田臻锋 陈兴科 |
| 作者单位： | 1. 中国科学院安徽光机所,合肥,230031;郑州大学物理工程学院,郑州,450052 2. 郑州大学物理工程学院,郑州,450052;郑州轻工业学院,郑州,450002 3. 郑州大学物理工程学院,郑州,450052 |
| 摘 要： | 用脉冲激光沉积(PLD)的方法制备ZnO薄膜。通过对薄膜的X射线衍射(XRD)测试,分析了不同衬底温度下薄膜的结晶状况;通过对薄膜的光致发光谱线的测试,分析了不同衬底温度下薄膜的光致发光状况,同时进行了薄膜表面结构的测试。结果显示,衬底温度为400℃的样品结晶质量较高,具有C轴的择优取向,同时发光性能达到相对优化。 |
| 关 键 词： | 脉冲激光沉积法 ZnO薄膜 衬底温度 |
| 收稿时间： | 2005/10/20 |
| 修稿时间： | 2005年10月20 |
The Structure and PL Spectrum of ZnO Thin Film on Different Substrate Temperatures |
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| Guo Maotian,Tian Zhenfeng,Chen Xingke.The Structure and PL Spectrum of ZnO Thin Film on Different Substrate Temperatures[J].Applied Laser,2006,26(1):26-28. | |
| Authors: | Guo Maotian Tian Zhenfeng Chen Xingke |
| Abstract: | |
| Keywords: | ZnO film PLD Substrate temperatures |
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