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| 利用漏率间接测量密封件真空度方法的研究 | |
| 作者姓名： | 刘国庭 成永军 陈联 王玉洁 孙雯君 董猛 吴成耀 宋伊 魏宁斐 |
| 摘 要： | 本文提出利用漏率间接测量真空度的方法,解决密封件腔内真空度的测量问题.在此基础上开展相关实验,探究该方法在实际应用中的可行性以及相关适用条件等.实验以连接不同尺寸规格金属毛细管的模拟件为研究对象,利用动态流量法测量模拟件的漏率,进而间接获得模拟件的腔内真空度.实验结果表明,利用漏率间接测得的模拟件真空度与利用皮拉尼规原... |
| 关 键 词： | 密封件 间接测量真空度 漏率 流导 动态流量法 毛细管 |
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