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| 不同浓度的Mg掺杂β-Ga2O3薄膜的制备与研究 | |
| 引用本文： | 杨子淑,段苹,邓金祥,张晓霞,张杰,杨倩倩.不同浓度的Mg掺杂β-Ga2O3薄膜的制备与研究[J].真空,2021(3):30-34. |
| 作者姓名： | 杨子淑 段苹 邓金祥 张晓霞 张杰 杨倩倩 |
| 摘 要： | 本文采用射频磁控溅射方法在石英和高阻硅衬底上制备纯 β-Ga2O3薄膜和不同掺杂浓度的Mg掺杂β-Ga2O3薄膜,研究了薄膜的结构、光学和电学性质.X射线衍射测试结果表明,在我们的掺杂浓度内,Mg掺杂β-Ga2O3薄膜没有出现其他晶相的衍射峰,随着Mg掺杂浓度变大,薄膜的(401)和(601)衍射峰强度变弱.使用X射线... |
| 关 键 词： | 射频磁控溅射 Mg掺杂β-Ga2O3薄膜 带隙宽度 p型掺杂 |
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