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责任编辑
分类号
杂志ISSN号
不同浓度的Mg掺杂β-Ga2O3薄膜的制备与研究
作者姓名:
杨子淑
段苹
邓金祥
张晓霞
张杰
杨倩倩
摘 要:
本文采用射频磁控溅射方法在石英和高阻硅衬底上制备纯 β-Ga2O3薄膜和不同掺杂浓度的Mg掺杂β-Ga2O3薄膜,研究了薄膜的结构、光学和电学性质.X射线衍射测试结果表明,在我们的掺杂浓度内,Mg掺杂β-Ga2O3薄膜没有出现其他晶相的衍射峰,随着Mg掺杂浓度变大,薄膜的(401)和(601)衍射峰强度变弱.使用X射线...
关 键 词:
射频磁控溅射
Mg掺杂β-Ga2O3薄膜
带隙宽度
p型掺杂
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