第二十一讲真空卷绕镀膜期刊界 All Journals 搜尽天下杂志传播学术成果专业期刊搜索期刊信息化学术搜索

第二十一讲真空卷绕镀膜

摘要：	正(接2021年第2期88页)2.3电子束加热蒸发卷绕镀膜随着薄膜技术的广泛应用,采用电阻加热蒸发已不能满足蒸镀难熔金属和氧化物材料的需要,电阻加热方法的局限性一是来自坩埚、加热体以及各种支撑部件所可能带来的污染;二是电阻加热法的加热功率或温度也受到了一定的限制。因此电阻加热法不适用于高纯或难熔物质的蒸发。电子束蒸发方法正好克服了电阻加热方法的上述两个不足,
本文献已被 CNKI 等数据库收录！