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| 接近式光刻的计算机模拟研究 | |
| 引用本文： | 田学红,刘刚,田扬超,张新夷,张鹏.接近式光刻的计算机模拟研究[J].微纳电子技术,2003(8). |
| 作者姓名： | 田学红 刘刚 田扬超 张新夷 张鹏 |
| 摘 要： | 分析了菲涅耳近似模型在接近式光刻模拟中的应用和误差起源,并根据光的标量衍射理论,对菲涅耳近似模型进行了修正,得到了更加准确的类菲涅耳近似模型;并对这两种模型的模拟结果进行了比较. |
| 关 键 词： | 接近式光刻 菲涅耳衍射 计算机模拟 |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |
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