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纳米硅薄膜及纳米硅薄膜太阳电池
引用本文:赵占霞,崔容强,古丽娜,陈凤翔,储开芹,孟凡英,周之斌.纳米硅薄膜及纳米硅薄膜太阳电池[J].太阳能学报,2003,24(1):22-26.
作者姓名:赵占霞  崔容强  古丽娜  陈凤翔  储开芹  孟凡英  周之斌
作者单位:上海交通大学太阳能研究所,上海,200030
摘    要:综述了纳米硅薄膜及纳米硅薄膜太阳电池的制备方法、结构特性、光电特性等,显示出其有重要的应用前景。迄今为止,最好的纳米晶硅薄膜太阳电池的光电转换效率已达8.7%。

关 键 词:太阳电池  纳米晶硅薄膜  RF溅射方法  RF—PECVD方法
文章编号:0254-0096(2003)01-0022-05
修稿时间:2002年1月9日

NANOMETER SILICON THIN FILM AND NANOMETR SILICON THIN FILM SOLAR CELLS
Zhao Zhanxia,Cui Rongqiang,Gullanar M. Hadi,Chen Fengxiang,Chu Kaiqin,Meng Fanying,Zhou Zhibin.NANOMETER SILICON THIN FILM AND NANOMETR SILICON THIN FILM SOLAR CELLS[J].Acta Energiae Solaris Sinica,2003,24(1):22-26.
Authors:Zhao Zhanxia  Cui Rongqiang  Gullanar M Hadi  Chen Fengxiang  Chu Kaiqin  Meng Fanying  Zhou Zhibin
Abstract:The preparation, structure characteristics and photoelectricity characteristics of the nanometer silicon thin film and nanometer silicon thin film solar cells was reviewed. Currently the efficiency for nanometer silicon solar cells has reached 8.7%.
Keywords:solar cell  nanometer silicon thin film  RF_sputtering  RF_PECVD
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