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| F──600型立式涡轮分子泵研制总结 | |
| 引用本文： | 沈阳真空技术研究所分子泵课题组.F──600型立式涡轮分子泵研制总结[J].真空,1979(2). |
| 作者姓名： | 沈阳真空技术研究所分子泵课题组 |
| 摘 要： | 涡轮分子泵是一种机械超高真空泵,能够获得清洁无油的超高真空。本文对涡轮分子泵的用途、工作原理、结构选择、设计计算等作一简单介绍,并在研制调试过程中所遇到的问题作一些讨论,最后介绍泵的性能及与国内外同类型产品的比较。 一、用途 涡轮分子泵由于它是靠机械作用抽气,所以能够获得清洁无油的高真空或超高真空。它具有对各种气体的抽速变化很小、抽速恒定、启动快、使用维护简单、抗辐射性好等一系列优点。广泛应用于原子能、高能加速器、受控热核反应、宇宙模拟、电子管、半导体器件制造,真空熔炼和科学研究等方面。 二、工作原理 … |
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