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| 150元BCCPD线阵电荷耦合图象传感器 | |
| 作者姓名： | 张忠堂 汤学新 张权 董建民 |
| 作者单位： | 中国科学院上海技术物理研究所(张忠堂，汤学新，张权)，中国科学院上海技术物理研究所(董建民) |
| 摘 要： | 本文报道了150元BCCPD线阵电荷耦合图象传感器的结构特点和工作原理;分析了反型层的杂质分布、最大沟道电势与注入剂量、氧化层厚度和栅压等之间的关系。选测了BCCPD的转移效率等性能。 |
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