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150元BCCPD线阵电荷耦合图象传感器
引用本文:张忠堂,汤学新,张权,董建民.150元BCCPD线阵电荷耦合图象传感器[J].红外与毫米波学报,1985,4(6).
作者姓名:张忠堂  汤学新  张权  董建民
作者单位:中国科学院上海技术物理研究所 (张忠堂,汤学新,张权),中国科学院上海技术物理研究所(董建民)
摘    要:本文报道了150元BCCPD线阵电荷耦合图象传感器的结构特点和工作原理;分析了反型层的杂质分布、最大沟道电势与注入剂量、氧化层厚度和栅压等之间的关系。选测了BCCPD的转移效率等性能。

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