| 基于悬浮薄膜堆叠式结构的微气体传感器设计 |
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| 引用本文： | 朱思敏,谭秋林,裴向东,熊继军.基于悬浮薄膜堆叠式结构的微气体传感器设计[J].传感器与微系统,2012,31(11):94-96. |
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| 作者姓名： | 朱思敏 谭秋林 裴向东 熊继军 |
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| 作者单位： | 中北大学电子测试技术国家重点实验室仪器科学与动态测试教育部重点实验室,山西太原,030051 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目，山西省自然科学基金资助项目 |
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| 摘 要： | 本文基于MEMS工艺所设计的气体传感器,克服了以往同类传感器响应时间长,读取数据量小,功耗大等缺点。由于温度作为气体传感器的一个重要工作条件,其敏感薄膜上温度的均衡度直接影响气体传感器的工作性能。该传感器采用悬浮薄膜式堆叠结构,堆叠层主要包含硅基底、隔离层、加热电极、绝缘层以及敏感薄膜。这样的结构设计是为了形成热隔离真空腔,真空环境可以有效降低温度瞬变对敏感薄膜的影响。利用ANSYS软件建立该结构建模,并对其进行温度仿真后发现该结构符合预期的理论分析,其响应时间缩短,拾取的数据量大幅增加,同时功耗有效降低。
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| 关 键 词： | 微气体传感器 悬浮薄膜堆叠式 ANSYS 结构设计 温度仿真 |
Design of suspended-membrance stacking-type structure micro gas sensor |
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| ZHU Si-min
,
TAN Qiu-lin
,
PEI Xiang-dong
,
XIONG Ji-jun.Design of suspended-membrance stacking-type structure micro gas sensor[J].Transducer and Microsystem Technology,2012,31(11):94-96. |
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| Authors: | ZHU Si-min TAN Qiu-lin PEI Xiang-dong XIONG Ji-jun |
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| Affiliation: | (National Key Laboratory For Electronic Measurement Technology,Key Laboratory of Instrumentation Science & Dynamic Measurement,Ministry of Education,North University of China,Taiyuan 030051,China) |
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