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基于CPLD和TDC的微电容传感器信号检测电路设计
引用本文:熊丽霞,江桥,杜晓松,周云,吕坚.基于CPLD和TDC的微电容传感器信号检测电路设计[J].传感器与微系统,2012,31(11):84-86,90.
作者姓名:熊丽霞  江桥  杜晓松  周云  吕坚
作者单位:电子科技大学 光电信息学院,四川成都,610054
摘    要:针对电容传感器的工作原理,以复杂可编程逻辑器件(CPLD)为核心,采用基于时间数字转换器(TDC)技术的芯片PS021,设计了一种高精度的微小电容测量电路。给出了PS021的测量原理和电路的软、硬件设计。采用PS021结合CPLD采集处理电容信号,外围电路简洁,应用方便,软件设计通过对PS021内部可编程寄存器的合理设置实现高精度的测量。实验结果表明:电路在10 Hz刷新频率时能够达到8 aF的有效精度,最高刷新频率可达50 kHz;电路实现了1 fF~0.01 aF的分辨率,有效精度位(ENOB)可达22位;高精度高刷新率可缓和测量速度和分辨率的矛盾,提高了微小电容的测量精度。

关 键 词:复杂可编程逻辑器件  时间数字转换器  微小电容  电容传感器  PS

Design of detecting circuit for signal of micro capacitance sensor based on CPLD & TDC
XIONG Li-xia , JIANG Qiao , DU Xiao-song , ZHOU Yun , L Jian.Design of detecting circuit for signal of micro capacitance sensor based on CPLD & TDC[J].Transducer and Microsystem Technology,2012,31(11):84-86,90.
Authors:XIONG Li-xia  JIANG Qiao  DU Xiao-song  ZHOU Yun  L Jian
Affiliation:XIONG Li-xia,JIANG Qiao,DU Xiao-song,ZHOU Yun,L Jian(School of Optoelectronic Information,State Key Laboratory of Electronic Thin Films and Integrated Devices,University of Electronic Science and Technology of China,Chengdu 610054,China)
Abstract:
Keywords:
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