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正入射软X光Ta／Si多层膜反射镜

引用本文：	邵建达,金宗明.正入射软X光Ta／Si多层膜反射镜[J].四川真空,1992(1):112-115.

作者姓名：	邵建达金宗明

摘要：
关键词：	反射镜多层膜反射率 X光工艺
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