|
|||||
|
|
| 低成本高灵敏度集成化压力与温度传感器 | |
| 引用本文： | Pons.,P 董波.低成本高灵敏度集成化压力与温度传感器[J].现代计量测试,1995,3(2):59-60,51. |
| 作者姓名： | Pons. P 董波 |
| 摘 要： | 低成本高灵敏度集成化压力与温度传感器Ｐ．Ｐｏｎｓ等一、简介金属电阻为进行简便、精确及低成本的用度测量创造了条件。此外，电容压力传感器据供了一个高灵敏度、低温漂的压力测量方法。将这两种类型的传感器集成干同一芯片上看来是可行的，而且符合经济上的要求，因为... |
| 关 键 词： | 压力 温度 传感器 测量 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |