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锆钛酸铅成分梯度薄膜的介电及铁电性能研究
引用本文:李建康,姚熹. 锆钛酸铅成分梯度薄膜的介电及铁电性能研究[J]. 压电与声光, 2006, 28(4): 452-454,457
作者姓名:李建康  姚熹
作者单位:1. 苏州科技学院,电子与信息工程系,江苏,苏州,215011
2. 西安交通大学,电子材料研究所,陕西,西安,710049
基金项目:江苏省自然科学基金资助项目(BK2005039),江苏省高校自然科学研究计划资助项目(05KJB430127)
摘    要:采用溶胶-凝胶(Sol-Gel)法,通过快速热处理,在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备出Pb(Zr,Ti)O3成分梯度薄膜。经俄歇微探针能谱仪(AES)对制备的上梯度薄膜进行了成分深度分析,结果证实其成分梯度的存在。经XRD分析表明,制备的梯度薄膜为四方结构和三方结构的复合结构,但其晶面存在一定的结构畸变。经介电温谱测试表明,随着温度的升高,梯度薄膜出现一个铁电-铁电相变点和两个居里点,同时出现一定的频率弥散现象。经-εV特性曲线测试表明,梯度薄膜的介电常数-电压(-εV)及介质损耗-电压(tan-δV)曲线呈现典型的双峰特性,并且左右不对称。经不同偏压下电滞回线的测试表明,梯度薄膜表现出良好的铁电性质。

关 键 词:成分梯度薄膜  锆钛酸铅  -εV及tan-δV
文章编号:1004-2474(2006)04-0452-03
收稿时间:2005-01-12
修稿时间:2005-01-12

Study on Dielectric and Ferroelectric Properties of Compositionally Graded Pb(Zr, Ti)O3 Thin Films
LI Jian-kang,YAO Xi. Study on Dielectric and Ferroelectric Properties of Compositionally Graded Pb(Zr, Ti)O3 Thin Films[J]. Piezoelectrics & Acoustooptics, 2006, 28(4): 452-454,457
Authors:LI Jian-kang  YAO Xi
Abstract:
Keywords:
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