| 纳米粒径RGTO SnO2薄膜的制备及气敏特性研究 |
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| 引用本文： | 张阳,何秀丽,高晓光,李建平.纳米粒径RGTO SnO2薄膜的制备及气敏特性研究[J].真空科学与技术学报,2007,27(2):118-122. |
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| 作者姓名： | 张阳 何秀丽 高晓光 李建平 |
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| 作者单位： | 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,北京,100080 |
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| 摘 要： | 针对RGTO SnO2薄膜颗粒粒径较大的问题，通过控制直流磁控溅射时的溅射气压，制备出了纳米粒径RGTO SnO2薄膜，用SEM表征了其形貌及粒径分布，研究了溅射气压对其形核及生长过程的影响，测试了薄膜对乙醇的气敏特性。研究结果表明，改变溅射气压能够有效控制RGTO SnO2薄膜的粒径，这种控制作用主要发生在形核阶段，是通过溅射气压对沉积速率的影响产生的；气敏测试结果证实了该纳米粒径敏感膜具有较高的灵敏度和较快的响应恢复特性。
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| 关 键 词： | 二氧化锡薄膜 纳米粒子 RGTO 溅射气压 气敏特性 |
| 文章编号： | 1672-7126(2007)02-0118-05 |
| 修稿时间： | 2006年7月26日 |
Growth of Nano-Particulated SnO2 Film by Rheotaxial Growth & Thermal Oxidation and Its Gas Sensing Properties |
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| Zhang Yang,He Xiuli,Gao Xiaoguang,Li Jianping.Growth of Nano-Particulated SnO2 Film by Rheotaxial Growth & Thermal Oxidation and Its Gas Sensing Properties[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,2007,27(2):118-122. |
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| Authors: | Zhang Yang He Xiuli Gao Xiaoguang Li Jianping |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | RGTO |
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