| 微加工干法刻蚀工艺模拟工具的研究现状 |
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| 引用本文： | 周荣春,张海霞,郝一龙. 微加工干法刻蚀工艺模拟工具的研究现状[J]. 微纳电子技术, 2003, 0(Z1) |
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| 作者姓名： | 周荣春 张海霞 郝一龙 |
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| 作者单位： | 北京大学微电子学研究院，北京大学微电子学研究院，北京大学微电子学研究院 MEMS研究所，北京100871，MEMS研究所，北京100871，MEMS研究所，北京100871 |
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| 摘 要： | 随着MEMS技术的不断发展 ,微加工工艺的仿真和模拟越来越受到人们的关注。简要介绍了国外干法刻蚀工艺模拟工具的发展情况 ,主要包括美国的SPEEDIE、日本的MORDERN和DEER。最后简要介绍了国内开发的DROPIE模拟工具
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| 关 键 词： | MEMS 干法刻蚀 模拟工具 |
Research of dry etching simulator in micromachining |
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| ZHOU Rong chun,ZHANG Hai xia,HAO Yi long. Research of dry etching simulator in micromachining[J]. Micronanoelectronic Technology, 2003, 0(Z1) |
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| Authors: | ZHOU Rong chun ZHANG Hai xia HAO Yi long |
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| Abstract: | This paper briefly introduces the research development of dry etching simulator abroad, which mainly includes SPEEDIE developed in US, MORDERN and DEER in Japan. Finally we briefly introduce the simulator DROPIE developed domestically. |
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| Keywords: | MEMS dry etching simulator |
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