| GaAs光电阴极多信息量测试系统设计 |
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| 引用本文： | 邹继军,钱芸生,常本康,林刚勇,冯林. GaAs光电阴极多信息量测试系统设计[J]. 半导体光电, 2006, 27(5): 582-585 |
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| 作者姓名： | 邹继军 钱芸生 常本康 林刚勇 冯林 |
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| 作者单位： | 南京理工大学,电光学院,江苏,南京,210094;东华理工学院,电子工程系,江西,抚州,344000;南京理工大学,电光学院,江苏,南京,210094;东华理工学院,电子工程系,江西,抚州,344000 |
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| 基金项目： | 高等学校博士学科点专项科研项目 |
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| 摘 要： | 为了优化GaAs光电阴极制备工艺,设计了一个用于GaAs光电阴极制备过程监控的多信息量测试系统.系统采用了先进的现场总线技术,可在线测试阴极加热净化过程中真空度随温度的变化曲线,阴极激活过程中光电流、真空度、Cs源和O源电流的变化曲线,以及阴极激活后的光谱响应曲线.光电流测试精度可达1 nA,光谱响应曲线测量范围在400～1 000 nm.利用该系统对阴极制备过程进行了监测,并给出了测试结果.
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| 关 键 词： | GaAs光电阴极 多信息量 现场总线 真空度 光谱响应 |
| 文章编号： | 1001-5868(2006)05-0582-04 |
| 收稿时间： | 2006-02-13 |
| 修稿时间： | 2006-02-13 |
Design of Multi-information Measurement System for GaAs Photocathodes |
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| ZOU Ji-jun,QIAN Yun-sheng,CHANG Ben-kang,LIN Gang-yong,FENG Lin. Design of Multi-information Measurement System for GaAs Photocathodes[J]. Semiconductor Optoelectronics, 2006, 27(5): 582-585 |
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| Authors: | ZOU Ji-jun QIAN Yun-sheng CHANG Ben-kang LIN Gang-yong FENG Lin |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | GaAs photocathode multi-information field bus vacuum degree spectral response |
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