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| 基于四象限光电探测器的对准与测量系统优化设计——系统优化 | |
| 引用本文： | 汤晓君,李玉军,刘君华,梁琨.基于四象限光电探测器的对准与测量系统优化设计——系统优化[J].仪器仪表学报,2008,29(7). |
| 作者姓名： | 汤晓君 李玉军 刘君华 梁琨 |
| 作者单位： | 1. 西安交通大学电气工程学院,西安,710049 2. 西安交通大学电气工程学院,西安,710049;西安理工大学自动化与信息工程学院,西安,710048 3. 西安理工大学计算机科学与工程学院,西安,710048 |
| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划) |
| 摘 要： | 在构建四象限光电探测器的测量/对准系统数学模型的基础上,提出了一种搜寻算法,以优化系统,使得对准模型具有线性化的输入输出关系,且具有非常高的选择性.系统仿真结果表明,在四象限光电探测器光电转换系数为常数情况下,所提出的模型优化方法正确可行.掩模板位置偏移量与光电探测器的输出具有线性关系,不论是在横向方向还是纵向方向,而且消除了x、y两个方向偏移量的交叉敏感,这使得消除四象限光电探测器安装位置偏差带来的影响成为可能,提高了探测器的应用效率和测量/对准的准确度.模型的实测结果表明,经优化后的系统微位移检测误差与对准误差均小于2μm. |
| 关 键 词： | 四象限光电探测器 对准 线性化设计 优化 四象限光电探测器 测量 系统优化设计 based measurement system alignment design Optimization 对准误差 检测误差 微位移 实测结果 应用效率 影响 位置偏差 安装 交叉敏感 方向 线性关系 输出 |
Optimization design for alignment and measurement system based on four-quadrant photo-detector:system optimization |
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| Tang Xiaojun,Li Yujun,Liu Junhua,Liang Kun.Optimization design for alignment and measurement system based on four-quadrant photo-detector:system optimization[J].Chinese Journal of Scientific Instrument,2008,29(7). | |
| Authors: | Tang Xiaojun Li Yujun Liu Junhua Liang Kun |
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