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| 硅基法布里-珀罗微腔的室温发光 | |
| 引用本文： | 王燕,但亚平,岳瑞峰,刘理天.硅基法布里-珀罗微腔的室温发光[J].半导体学报,2003,24(1):69-71. |
| 作者姓名： | 王燕 但亚平 岳瑞峰 刘理天 |
| 摘 要： | 提出了一种新型基于法布里 -珀罗 (F- P)微腔的发光器件结构 .它采用 PECVD方法制备的非晶硅 /二氧化硅结构作为微腔中的布拉格反射腔 ,非晶碳化硅薄膜作为中间光发射层 ,通过对一维方向光子的限制 ,使发光层荧光强度增强 ,谱线变窄 .通过调节发光层和反射腔膜厚及折射率 ,可以精确控制发光峰位 .实验结果证明该结构可望实现全硅基材料的强室温可见光发射 . |
| 关 键 词： | 法布里-珀罗(F-P)微腔 碳化硅 光致发光 |
Room Temperature Luminescent Properties of Si-Based Fabry-Perot Microcavity |
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| Keywords: | |
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