基于激光反馈干涉仪的新型测长装置 |
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作者姓名: | 张诚光 王广昌 |
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作者单位: | |
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摘 要: | 1 工作原理 如果激光束聚焦在物体的散射表面,则有小部分辐射由表面散射返回至发射激光谐振腔并与原波产生干涉现象.如果物体移动,则后向散射光产生多普勒频移.激光晶体后面的光电二极管接收辐射并产生用拍频调制的信号.被称为多普勒频移的拍频fd为式中υ是移动物体表面的速度值,n是光学折射率,θ是速度矢量与激光束间的夹角,λ是激光在真空中的波长.根据多普勒频移和外差混频理论可推导出方程式(1).传感器配置如图1所示,它由内置光电二极管的激光二极管、微透镜、珀尔贴器件及电子线路组成.
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关 键 词: | 激光反馈干涉仪 测长装置 工作原理 |
修稿时间: | 2000-09-05 |
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