TiO2掺杂α—Fe2O3薄膜的制备与气敏性能 |
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作者姓名: | 徐甲强 沈渝生 |
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作者单位: | 郑州轻工业学院(徐甲强),中国科学技术大学(沈渝生) |
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摘 要: | 以钛酸丁酯和二茂铁为源物质,用氧气做氧化剂,采用等离子体化学气相沉积的方法,合成了具有良好气敏性能的TiO_2掺杂α-Fe_2O_3薄膜。采用SEM,XRD、DTG、IR、XPS和XRF等方法对薄膜的结构和成份进行了分析和观察。气敏测试的结果表明,TiO_2掺杂有助干提高α-Fe_2O_3薄膜的气敏选择性和气体灵敏度,并降低其工作温度。
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关 键 词: | TiO2 α-FeO3薄膜 制备 掺杂 |
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