| 二氧化钛厚膜钯表面扩散状态对氧气响应特性影响 |
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| 引用本文： | 吴向,袁战恒,郑程.二氧化钛厚膜钯表面扩散状态对氧气响应特性影响[J].硅酸盐学报,2008,36(Z1):48-53. |
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| 作者姓名： | 吴向 袁战恒 郑程 |
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| 作者单位： | 吴向（西安交通大学电子系,西安710049）;袁战恒（西安交通大学电子系,西安710049）;郑程（西安交通大学电子系,西安710049） |
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| 摘 要： | 利用二氯化钯(PdCl2)溶液浸渍法,研究了二氧化钛(TiO2)厚膜钯(Pd)原子表层扩散对氧气响应特性的影响.扫描电子显微镜显示:Pd扩散后厚膜表面均匀分布着纳米级Pd晶粒.利用Kroger-Vink方程分析了不同扩散时间下对应的lnR-lnpo2曲线,针对不同斜率的曲线,用缺陷方程分析了Pd元素的分布状态.样品响应特性的伏安法测试结果显示:820℃,2h扩散的敏感膜具有理想灵敏度和响应时间.研究结果表明:Pd元素在敏感膜表面形成了纳米级Pd晶粒,并在TiO2厚膜表层中存在着少量的钯间隙原子(Pdi)及替位钯离子(Pd2 ).合理的扩散温度和扩散时间,可获得表层Pd氧化量最少、扩散浓度合适的敏感膜,进而获得效果理想的厚膜氧敏材料.
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| 关 键 词： | 二氧化钛 厚膜 钯表面扩散 氧气响应特性 |
| 文章编号： | 0454-5648(2008)S1-048-06 |
| 修稿时间： | 2007年8月23日 |
INFLUENCE OF PALLADIUM APPARENT DIFFUSION STATES IN TITANIA THICK FILM ON OXYGEN RESPONSE CHARACTERISTICS |
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| WU Xiang,YUAN Zhanheng,ZHENG Cheng.INFLUENCE OF PALLADIUM APPARENT DIFFUSION STATES IN TITANIA THICK FILM ON OXYGEN RESPONSE CHARACTERISTICS[J].Journal of The Chinese Ceramic Society,2008,36(Z1):48-53. |
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| Authors: | WU Xiang YUAN Zhanheng ZHENG Cheng |
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