| Ti6Al4V表面TiN/Ti复合膜的制备及摩擦学性能研究 |
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| 引用本文： | 张敏,李淑新,蒋立,范爱兰,唐宾.Ti6Al4V表面TiN/Ti复合膜的制备及摩擦学性能研究[J].热加工工艺,2012,41(14):148-150. |
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| 作者姓名： | 张敏 李淑新 蒋立 范爱兰 唐宾 |
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| 作者单位： | 1. 太原理工大学表面工程研究所,山西太原,030024
2. 太原工具厂,山西太原,030024 |
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| 基金项目： | 山西省科技攻关项目，太原理工大学校发展科技基金项目 |
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| 摘 要： | 采用直流磁控溅射法在Ti6Al4V表面制备TiN/Ti复合膜。分别用FESEM、GDEOS和XRD分析薄膜表面的成分及相结构;利用划痕仪分析膜基结合强度;通过球盘磨损机和轮廓仪测试磨痕形貌和磨损体积,评价膜层的摩擦学性能。结果表明,TiN/Ti复合膜表面致密光滑,呈金黄色金属光泽;膜基结合强度大于100 N;表面镀有TiN/Ti复合膜的Ti6Al4V合金虽没有减磨作用,但提高了耐磨性。
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| 关 键 词： | Ti6Al4V 磁控溅射 复合膜 摩擦学性能 |
Preparation and Tribological Properties of TiN/Ti Film on Ti6Al4V Surface |
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| ZHANG Min
,
LI Shuxin
,
JIANG Li
,
FAN Ailan
,
TANG Bin.Preparation and Tribological Properties of TiN/Ti Film on Ti6Al4V Surface[J].Hot Working Technology,2012,41(14):148-150. |
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| Authors: | ZHANG Min LI Shuxin JIANG Li FAN Ailan TANG Bin |
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| Affiliation: | 1 (1.Research Institute of Surface Engineering,Taiyuan University of Technology,Taiyuan 030024,China;2.Taiyuan Tools Factory,Taiyuan 030024,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | |
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