| 退火质子交换法制作LiNnO3光波导 |
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| 引用本文： | 沈映欣. 退火质子交换法制作LiNnO3光波导[J]. 半导体光电, 2000, 21(z1): 75-77 |
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| 作者姓名： | 沈映欣 |
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| 作者单位： | 重庆光电技术研究所，重庆 400060 |
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| 摘 要： | 文章介绍了退火质子交换机理和制作光波导的工艺过程。
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| 关 键 词： | 退火质子交换 光波导 APE LiNbO3 waveguides |
| 文章编号： | 1001-5868(2000)01S-0075-03 |
| 修稿时间： | 1999-11-20 |
Fabrication of LiNbO3 Waveguides by Annealing Proton Exchange Technology |
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| SHENG Yin-xing. Fabrication of LiNbO3 Waveguides by Annealing Proton Exchange Technology[J]. Semiconductor Optoelectronics, 2000, 21(z1): 75-77 |
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| Authors: | SHENG Yin-xing |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | |
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