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| 准分子激光对Al,Au刻蚀的技术研究 | |
| 作者姓名： | 刘军 燕方龙 |
| 作者单位： | 吉林大学 长春(刘军，张玉书)，长春应用化学研究所 长春(燕方龙，周大凡) |
| 摘 要： | 本文报导了准分子激光对Al、Au等金属的直接刻蚀和诱导刻蚀技术,给出了刻蚀过程中激光能量密度、刻蚀速率及反应气体压力之间的关系,分析讨论了准分子激光对Al、Au的刻蚀机理和规律。 |
| 关 键 词： | 激光 AlAu 刻蚀技术 准分子 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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