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| 氢等离子体对（Pt及其硅化物）／Si界面的杂质／缺陷态和势垒的影响 | |
| 作者姓名： | 丁孙安 许振嘉 |
| 作者单位： | 中国科学院半导体研究所表面物理国家重点实验室 |
| 摘 要： | 存在于（Ｐｔ及其硅化物）／Ｓｉ界面的深能级缺陷常常会影响器件的性能．本文主要讨论氢等离子体对（Ｐｔ及其硅化物）／Ｓｉ界面深能级杂质缺陷的钝化作用及对其Ｓｃｈｏｔｔｋｙ势垒的影响． |
| 关 键 词： | 硅 界面 杂质 氢等离子体 缺隐态 |
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