热壁低压化学汽相淀积二氧化硅钝化膜的制备和应用

本文叙述低压化学汽相淀积法制备二氧化硅钝化膜的系统装置及其工艺实验概况。其次简述二氧化硅膜的性质及其在铂化硅肖特基势垒红外探测器研制中的应用。