| 单质量块的单轴集成惯性测量器件的设计 |
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| 引用本文： | 马宗敏,石云波,刘俊.单质量块的单轴集成惯性测量器件的设计[J].传感技术学报,2008,21(4):600-603. |
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| 作者姓名： | 马宗敏 石云波 刘俊 |
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| 作者单位： | 中北大学电子测试技术国家重点实验室,中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原,030051;中北大学电子测试技术国家重点实验室,中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原,030051;加州伯克利大学机械工程系,伯克利,USA CA94720 |
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| 基金项目： | 教育部跨世纪优秀人才培养计划 |
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| 摘 要： | 介绍了一种单质量块的单轴集成惯性测量器件的结构,提出一种可以利用一个敏感头同时测量某一方向加速度和陀螺信号的集成测量结构形式;同时建立了单轴集成测量器件的模型,并运用计算机辅助软件对其进行仿真,对惯性测量器件的加速度信号和陀螺信号的产生及仿真进行了阐述;最后,为了保证器件有高的成品率,对测量器件的版图进行了优化设计和修改;为了保证高的检测精度,还就测量器件的后续处理电路进行了研究.
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| 关 键 词： | 单轴集成 建模 仿真 版图 处理电路 |
| 文章编号： | 1004-1699(2008)04-0600-04 |
| 修稿时间： | 2007年9月30日 |
The design of the single-axis integrated inertia measurement device |
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| Ma Zongmin,Shi Yunbo,Liu Jun.The design of the single-axis integrated inertia measurement device[J].Journal of Transduction Technology,2008,21(4):600-603. |
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| Authors: | Ma Zongmin Shi Yunbo Liu Jun |
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| Affiliation: | North University of China |
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| Abstract: | A single-chip integration inertia measurement device is designed,and the proposed sensor can detect the acceleration and angle velocity in the same direction at the same time.In the meantime,the model of the device is set up and simulated using soft wares.The signal of the accelerates and the angle velocity is represented too by simulation.In the end,for the purpose of high rate of finished products,the process map is optimized and modified;aiming at high detection accuracy,the subsequent circuit of the device is designed too. |
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| Keywords: | signal-axis integrated modeling simulation process map process circuit |
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