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| 采用SDB／SOI衬底的PH传感器 | |
| 作者姓名： | 陈德英 唐国洪 |
| 摘 要： | 采用SDB/SOI材料制备的ISFET型 PH传感器减小了衬底漏电流,改善了PH传感器的温漂时漂等特性。本文提出的结构对PH传感器的实用化是引人注目的。 |
| 关 键 词： | PH传感器 传感器 SDB／SOI |
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