| 二硅化钼发热元件的多样化及其发展趋势 |
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| 引用本文： | 冯培忠,王晓虹.二硅化钼发热元件的多样化及其发展趋势[J].工业加热,2007,36(3):62-64. |
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| 作者姓名： | 冯培忠 王晓虹 |
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| 作者单位： | 中国矿业大学,材料科学与工程学院,江苏,徐州,221008 |
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| 摘 要： | 介绍了二硅化钼发热元件的特性;比较了挤压成形和高温热弯成形工艺的特点,指出高温热弯成形更容易获得形状复杂的元器件;综述了二硅化钼发热元件的多样性,着重阐述了螺旋形和处理半导体制品专用快速热处理炉、扩散炉和CVD炉的复杂形状二硅化钼发热元件;论述了二硅化钼发热元件未来的发展趋势。
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| 关 键 词： | 加热炉 发热元件 二硅化钼 |
| 文章编号： | 1002-1639（2007）03-0062-03 |
Diversification and Development Trends of MoSi2 Heating Element |
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| FENG Pei-zhong,WANG Xiao-hong.Diversification and Development Trends of MoSi2 Heating Element[J].Industrial Heating,2007,36(3):62-64. |
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| Authors: | FENG Pei-zhong WANG Xiao-hong |
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