| 硅基LiNbO3薄膜的光波导性能研究 |
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| 引用本文： | 王新昌,叶志镇,李士玲,曹亮亮,赵炳辉.硅基LiNbO3薄膜的光波导性能研究[J].真空科学与技术学报,2005,25(4):245-248. |
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| 作者姓名： | 王新昌 叶志镇 李士玲 曹亮亮 赵炳辉 |
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| 作者单位： | 1. 浙江大学硅材料国家重点实验室,杭州,310027
2. 山东大学物理与微电子学院,济南,250100 |
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| 摘 要： | 利用脉冲激光沉积技术在硅衬底上生长高c轴取向LiNbO3薄膜.研究了衬底温度对薄膜质量的影响,发现衬底温度在600 ℃时获得了具有优异结晶质量的高c轴取向LiNbO3薄膜.采用扫描电镜和透射电镜分别对薄膜的表面、截面进行了分析,结果表明,薄膜表面光滑,晶粒均匀致密,薄膜呈与衬底垂直的柱状结构.棱镜耦合技术制备的LiNbO3薄膜具有优异的光波导性能,光损耗为1.14 dB/cm.
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| 关 键 词： | 脉冲激光沉积 LiNbO3薄膜 光波导 硅衬底 |
| 文章编号： | 1672-7126（2005）04-0245-04 |
| 收稿时间： | 2005-03-09 |
| 修稿时间： | 2005年3月9日 |
Optical Waveguide Properties of LiNbO3 Thin Films on Silicon Substrates |
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| Wang Xinchang,Ye Zhizhen,Li Shiling,Cao Liangliang,Zhao Binghui.Optical Waveguide Properties of LiNbO3 Thin Films on Silicon Substrates[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,2005,25(4):245-248. |
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| Authors: | Wang Xinchang Ye Zhizhen Li Shiling Cao Liangliang Zhao Binghui |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Pulsed laser deposition LiNbO3 thin films Optical waveguide Silicon substrate |
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