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| 飞秒激光辐照结合湿法腐蚀在晶体材料微结构制备中的应用 | |
| 作者姓名： | 沈天伦 司金海 陈涛 侯洵 |
| 作者单位： | 西安交通大学电子与信息学部电子科学与工程学院,陕西省信息光子技术重点实验室,陕西西安710049;西安交通大学电子与信息学部电子科学与工程学院,陕西省信息光子技术重点实验室,陕西西安710049;西安交通大学电子与信息学部电子科学与工程学院,陕西省信息光子技术重点实验室,陕西西安710049;西安交通大学电子与信息学部电子科学与工程学院,陕西省信息光子技术重点实验室,陕西西安710049 |
| 基金项目： | 国家重点研发计划;中央高校基本科研业务费专项 |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | 激光光学 飞秒激光 湿法腐蚀 晶体材料 微纳结构 |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ | |