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DOI
责任编辑
分类号
杂志ISSN号
飞秒激光制备可控微纳米结构表面及应用研究
作者姓名:
边玉成
王宇龙
肖轶
张迎辉
焦云龙
吴东
周成刚
姚成立
作者单位:
中国科学技术大学微电子学院,安徽合肥230026;中国科学技术大学微纳研究与制造中心,安徽合肥230026;中国科学技术大学精密机械与精密仪器系,安徽合肥230026;南通职业大学机械工程学院,江苏南通226007;合肥师范学院化学与化学工程学院,安徽合肥230601
基金项目:
中央大学基础研究经费;江苏省自然科学基金;国家自然科学基金;安徽省高等学校优秀青年项目;中国博士后科学基金;国家重点研发计划
摘 要:
关 键 词:
激光光学
飞秒激光
微纳米加工
可控微纳米结构
特殊润湿性
仿生应用
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