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飞秒激光制备可控微纳米结构表面及应用研究
作者姓名:边玉成  王宇龙  肖轶  张迎辉  焦云龙  吴东  周成刚  姚成立
作者单位:中国科学技术大学微电子学院,安徽合肥230026;中国科学技术大学微纳研究与制造中心,安徽合肥230026;中国科学技术大学精密机械与精密仪器系,安徽合肥230026;南通职业大学机械工程学院,江苏南通226007;合肥师范学院化学与化学工程学院,安徽合肥230601
基金项目:中央大学基础研究经费;江苏省自然科学基金;国家自然科学基金;安徽省高等学校优秀青年项目;中国博士后科学基金;国家重点研发计划
摘    要:

关 键 词:激光光学  飞秒激光  微纳米加工  可控微纳米结构  特殊润湿性  仿生应用
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