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反射高能电子衍射优化GaSb薄膜生长的工艺研究
作者姓名:房丹  张强  李含  谷开慧
作者单位:长春理工大学光电信息学院光电科学分院,吉林长春130022;长春理工大学光电信息学院光电科学分院,吉林长春130022;长春理工大学光电信息学院光电科学分院,吉林长春130022;长春理工大学光电信息学院光电科学分院,吉林长春130022
摘    要:

关 键 词:薄膜  反射高能电子衍射  GaSb  分子束外延  生长速率
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