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修正边界区域误差的共聚焦显微成像粗糙度测量
作者姓名:叶寒  翁祖昕  张运海  缪佳  肖昀
作者单位:南昌大学机电工程学院,江西南昌330031;中国科学院苏州生物医学工程技术研究所江苏省医用光学重点实验室,江苏苏州215163;江苏省医疗器械检验所,南京210019
基金项目:济南市高校20条资助项目;山东省自然科学基金;国家重点研发计划
摘    要:

关 键 词:测量  非接触式测量  表面粗糙度  共聚焦成像  轮廓滤波器
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