基于相位偏折的类镜面物体表面缺陷检测 |
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引用本文: | 姜硕,杨凌辉,任永杰,邾继贵.基于相位偏折的类镜面物体表面缺陷检测[J].激光与光电子学进展,2020,57(3):105-113. |
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作者姓名: | 姜硕 杨凌辉 任永杰 邾继贵 |
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作者单位: | 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津300072;天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津300072;天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津300072;天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津300072 |
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基金项目: | 国家自然科学基金;天津市自然科学基金 |
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摘 要: |
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关 键 词: | 测量 类镜面缺陷 相位测量偏折术 格雷码 相位展开 |
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