YCW—A型微型脉动压力传感器

本文介绍了YCW-A型微型脉动压力传感器的设计原理,制造工艺及其性能指标等。由于半导体工艺的不断发展,利用半导压阻效应制造压力传感器早已得到实现。该微型压力传感器,在膜片内表面扩散有4个半导体薄层应变电阻条构成一组惠斯顿全桥电路,并采用了最新的无机封接技术。故该传感器体型非常小,而且具有灵敏度高,蠕变及迟滞效应小,线性度及重复性好,特别是自振频率高,以及很宽的频响特性。微型压力传感器膜片的有效直径为φ1.5mm,管壳外径为φ3mm,长为10mm,传感器并附有温度补偿组件,与调零装置装配在一起。其输出信号可用数字电压表,信号调节器,或动态应变仪接示波器记录。本传感器试用结果满意。可以在0℃～40℃温度范围内试验室测量无腐蚀性流体的脉动压力用。为水工、航空、船舶及生物、医学等方面的试验研究,提供了必要的测压器件。