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砷离子注入CdTe薄膜热退火效应的共振喇曼与荧光光谱研究
引用本文:张家明,郭世平.砷离子注入CdTe薄膜热退火效应的共振喇曼与荧光光谱研究[J].红外与毫米波学报,1996,15(1):23-28.
作者姓名:张家明  郭世平
作者单位:中国科学院上海技术物理研究所,红外物理国家实验室
摘    要:应用共振喇曼和荧光光谱系统地研究了As离子注入CdTeMBE外延膜的热退火行为。发现随着退炎温度升高至440℃,其晶格恢复和缺陷态消除得最完整当TA高于440℃,晶格质量陡峭地下降,TA越高,越多的As占据Te位作为Te位受主,样品表现为更小的补系数和更高的空穴浓度。

关 键 词:光谱  离子注入  热退火  散射谱  荧光谱  碲化镉  

RESONANT RAMAN AND PHOTOLUMINESCENCE STUDIES OF THE ANNEALING EFFECTS OF THE As ION IMPLANTED CdTe FILMS
Zhang Jiaming,Guo Shiping,Yuan Shixin,Shen Xuechu.RESONANT RAMAN AND PHOTOLUMINESCENCE STUDIES OF THE ANNEALING EFFECTS OF THE As ION IMPLANTED CdTe FILMS[J].Journal of Infrared and Millimeter Waves,1996,15(1):23-28.
Authors:Zhang Jiaming  Guo Shiping  Yuan Shixin  Shen Xuechu
Abstract:
Keywords:spectroscopy  ion implantation  thermal annealing  lattice recovery  acceptor at Te site    
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