利用STED方法研究ITX聚合物的复杂超分辨纳米加工

正因为光具有波动性,由于衍射效应的限制,基于传统的双光子荧光成像分辨率只能达到200 nm。1994年Hell第一次提出受激辐射耗尽(STED)显微术,其核心思想是利用受激辐射耗散掉艾里斑边沿区域的激发态荧光分子。从而压缩成像区域的大小,能够获得超越衍射极限的荧光成像。建立了基于STED的纳米结构加工的实验系统、该系统中用800 nm飞秒振荡级输出的80 MHz飞秒脉冲作为聚合光,532 nm连续激光为阻聚合光。532 nm激光经过扩柬,再经过螺旋相位板形成空心光束,用NA=1.4的浸油物镜聚焦激光,得到532 nm空心光束的直径约500 nm,800 nm激光的焦斑直径约200 nm,与国际报道的结果基本相同。未来有望通过STED纳米加工的方法,以及软件方面的更新,使得此技术能完成加工纳米晶体管的目标。