| 化学气相沉积TaC涂层的微观形貌及晶粒择优生长 |
| |
| 引用本文： | 陈招科,熊翔,李国栋,肖鹏,张红波,王雅雷,黄伯云.化学气相沉积TaC涂层的微观形貌及晶粒择优生长[J].中国有色金属学报,2008,18(8). |
| |
| 作者姓名： | 陈招科 熊翔 李国栋 肖鹏 张红波 王雅雷 黄伯云 |
| |
| 作者单位： | 中南大学,粉末冶金国家重点实验室,长沙,410083 |
| |
| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(973计划)，国家高技术研究发展计划(863计划)，中国博士后科学基金 |
| |
| 摘 要： | 利用TaCl5-Ar-C3H6体系,采用X射线衍射技术和扫描电镜研究不同温度下化学气相沉积TaC涂层微观形貌及晶粒择优生长.结果表明:在800～1 200℃时,随沉积温度升高,TaC颗粒从圆球形逐渐转变为多角形以及金字塔形多面体,而其晶体择优取向依次从无明显择优取向向<220>和<200>转变;利用生长参数α和VAN DERDRIFT,MEAKIN的纳米级晶粒选择生长模型可较好地解释不同形貌的生长机制.当α=3时,薄膜会优先生长成<200>择优取向的金字塔晶粒;当α=1.5时,则容易生长成(220>取向的多角形晶粒.
|
| 关 键 词： | TaC涂层 化学气相沉积 择优取向 微观形貌 |
Surface morphology of TaC coating prepared by chemical vapor deposition and preferential growth mechanism of TaC grains |
| |
| CHEN Zhao-ke,XIONG Xiang,LI Guo-dong,XIAO Peng,ZHANG Hong-bo,WHANG Ya-lei,HUANG Bo-yun.Surface morphology of TaC coating prepared by chemical vapor deposition and preferential growth mechanism of TaC grains[J].The Chinese Journal of Nonferrous Metals,2008,18(8). |
| |
| Authors: | CHEN Zhao-ke XIONG Xiang LI Guo-dong XIAO Peng ZHANG Hong-bo WHANG Ya-lei HUANG Bo-yun |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 维普 万方数据 等数据库收录！ |
|
