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| 金刚石涂层刀具开发中衬底与热丝距离的研究 | |
| 作者姓名： | 陈明 林伟民 大森整 |
| 作者单位： | 1. 上海交通大学,机械与动力工程学院,上海,200240 2. 日本理化学研究所,大森素形材工学研究室 |
| 摘 要： | 1 研究背景 金刚石涂层刀具在加工高硅铝合金、颗粒增强复合材料以及陶瓷等难加工材料时具有独特的优势.在金刚石涂层刀具制备中,刀具衬底表面的预处理和金刚石沉积工艺参数都会影响金刚石薄膜质量,进而影响刀具的切削性能.目前大量研究主要集中在衬底表面的预处理、碳源浓度、反应压力、偏压、衬底的温度控制等方面,而对于衬底与热丝之间的距离研究鲜有报道. |
| 关 键 词： | 金刚石涂层刀具 衬底表面 热丝 距离 颗粒增强复合材料 CVD装置 难加工材料 金刚石沉积 |
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