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memsstar以领先工艺把握MEMS机遇
作者姓名:王懿
作者单位:上海新微电子有限公司
摘    要:随着MEMS市场的爆发性成长,越来越多的MEMS制造厂应运而生。根据Yole Development的研究报告表明:2012年全球MEMS设备市场规模达到5亿美元。随着国内MEMS代工厂的发展,以及苏州、淄博等地方政府的中试平台建立,对MEMS设备的需求与日俱增,而memsstar凭借其丰富的MEMS制造工艺和解决方案获得国内客户青睐。来自苏格兰利文斯顿的memsstar是一家拥有近10年MEMS设备经验的公司。自从2004年memsstar进入MEMS领域,专注于开发MEMS刻蚀和沉积工艺设备,并获得全球市场认可。memsstar的干法释放刻蚀工艺是非常有竞争力的技术,可以消除湿法工艺造成的结构黏附问题。memsstar的MEMS设备和工艺经验可以确保客户成功地过渡到干法工艺,并能覆盖从器件研发到大批量生产的各个阶段。

关 键 词:利文斯顿  MEMS  memsstar  客户青睐  批量生产  代工厂  干法刻蚀  湿法刻蚀  压力传感器  研究报告
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