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| 一种用于淀积铁磁膜的新型磁控靶研究 | |
| 引用本文： | 张怀武,刘颖力.一种用于淀积铁磁膜的新型磁控靶研究[J].真空,1993(6):49-52. |
| 作者姓名： | 张怀武 刘颖力 |
| 作者单位： | 电子科技大学信材学院303室 成都市610054 (张怀武)，电子科技大学信材学院303室 成都市610054(刘颖力) |
| 摘 要： | 本文给出了一种新型铁磁靶设计方法，并用设计的ＤＣ磁控靶成功地制备出了用于磁头的ＦｅＳｉＡｌ合金薄膜，性能分析表明用该靶制备的膜可满足ＭＩＧ磁头的指标。 |
| 关 键 词： | 磁控靶 黑色金属合金 铁磁膜 磁头 |
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