| 空气耦合Lamb波在单晶硅中的传播特性和缺陷检测研究 |
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| 引用本文： | 何存富,刘岳鹏,刘增华,吴斌.空气耦合Lamb波在单晶硅中的传播特性和缺陷检测研究[J].机械工程学报,2015(12). |
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| 作者姓名： | 何存富 刘岳鹏 刘增华 吴斌 |
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| 作者单位： | 北京工业大学机械工程与应用电子技术学院 北京 100124 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，北京市属高等学校高层次人才引进与培养计划(CIT&TCD201304048)资助项目。 |
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| 摘 要： | 单晶硅是制造硅太阳能电池的主要材料之一,但其中的各类缺陷对其光电转换效率影响颇大。针对这些问题,采用空气耦合Lamb波检测方法对单晶硅产品的质量进行快速评价。理论计算Lamb波在各向异性的单晶硅中的频散曲线,得到Lamb波在不同方向上的理论速度分布;利用空气耦合超声传感器在(001)晶面的单晶硅中激励出A0模态的Lamb波,研究200 k Hz频率下Lamb波的入射角度与信号幅值的关系,确定最优入射角度为13°。采用相位谱的方法计算A0模态的相速度,试验结果与理论值吻合良好。利用波包幅值法和相关函数法分别计算A0模态的群速度,结果说明相关函数法测得的群速度与理论值误差更小;采用扫描方法对单晶硅进行缺陷检测,通过计算接收信号与参考信号的相关系数,确定出缺陷的位置和大小。
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| 关 键 词： | 单晶硅 空气耦合 Lamb波 相关系数 缺陷检测 |
Air-coupled Lamb Waves Propagation Characteristics and Defect Detection in Monocrystalline Silicon |
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| HE Cunfu,LIU Yuepeng,LIU Zenghua,WU Bin.Air-coupled Lamb Waves Propagation Characteristics and Defect Detection in Monocrystalline Silicon[J].Chinese Journal of Mechanical Engineering,2015(12). |
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| Authors: | HE Cunfu LIU Yuepeng LIU Zenghua WU Bin |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | monocrystalline silicon air-coupled Lamb waves correlation coefficient defect detection |
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