首页 | 本学科首页   官方微博 | 高级检索  
     

压电振子结构参数对微雾化器耦合特性的影响
引用本文:杨明伟,周兆英.压电振子结构参数对微雾化器耦合特性的影响[J].微纳电子技术,2009,46(4).
作者姓名:杨明伟  周兆英
作者单位:清华大学精密仪器与机械学系,北京,100084
摘    要:针对微雾化器存在的多能域能量耦合问题,建立了压电微雾化器的固-液-声耦合模型,对其耦合特性进行了数值计算,并着重分析了压电振子结构参数对耦合性的影响,得到了压电振子结构参数对于系统的结构振动、声压力波特性的影响规律。结果表明,由于液体层与固体的耦合作用,压电振子振动的同时,喷孔膜也产生振动,而且两者之间存在相位关系;压电振子的结构参数直接影响结构的耦合性、谐振频率大小以及背膜与喷孔膜的相位差,并且存在最佳的直径比和厚度比。因此,微雾化器设计时只考虑压电振子的振幅是不全面的,必须同时考虑喷孔膜的振动以及与背膜的相位关系,新的设计原则可为微雾化器的优化设计提供指导依据。

关 键 词:微雾化器  固-液耦合  声压力波  压电振子  微电机系统

Effects of Geometry of Piezoelectric Actuator on Coupling Characteristics of Micro Nebulizer
Yang Mingwei,Zhou Zhaoying.Effects of Geometry of Piezoelectric Actuator on Coupling Characteristics of Micro Nebulizer[J].Micronanoelectronic Technology,2009,46(4).
Authors:Yang Mingwei  Zhou Zhaoying
Affiliation:Department of Precision Instruments;Tsinghua University;Beijing 100084;China
Abstract:To solve the energy coupling of multi-energy domains in the micro nebulizer,the piezoelectric-solid-liquid-sound coupling model of the micro nebulizer was built.The coupling characteristic was calculated numerically,the influence of the piezoelectric actuator geometry on the piezoelectric-solid-liquid-sound coupling was analyzed emphatically.The effect rule of the piezoelectric actuator geometry on the structural vibration and the pressure wave was achieved.The results show that the vibration of the nozzle ...
Keywords:micro nebulizer  solid-liquid coupling  acoustic pressure wave  piezoelectric actuator  MEMS(microelectromechanical system)  
本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录!
设为首页 | 免责声明 | 关于勤云 | 加入收藏

Copyright©北京勤云科技发展有限公司  京ICP备09084417号