聚乙二醇和聚乙二醇硫醚化合物在化学镀铜液中的作用

本文研究了用聚乙二醇化合物作添加剂的化学镀铜液动力学。铜离子,氢氧根离子和甲醛的浓度可以变化。讨论了聚乙二醇化合物对金属表面的影响。新的化合物聚乙二醇硫醚已经制备出来并已在化学镀铜液中使用。这些新型化合物在一个分子中既含有对镀液起稳定作用的带硫的基团,又含有能提高镀率从而获得较好铜层质量的聚乙二醇基团。通过在化学镀铜液中添加含有各种数量的聚乙二醇基团来比较聚乙二醇和聚乙二醇碗醚化合物浓度的作用。