低能电子衍射仪在纳米技术中的应用

文章介绍了低能电子衍射（ＬＥＥＤ）的特点，低能电子衍射谱仪的结构和工作原理，以及它在纳米测量技术中的应用，最后介绍了仪器的分辨率和测试精度。