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加重金属层对ZnO-Si SAW单片器件的影响
作者姓名:K.Yashiro  杨清宗
作者单位:日·千叶大学
摘    要:数字计算表明,加金这样的重金属导电层,增强了机-电耦合,从而降低了ZnO薄膜和Si基片之间的SAW速度.计算还表明,可在相速温度系数不恶化的情况下提高机-电耦合系数.

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