| 衬底温度对ZnO:N薄膜结构和光学性能的影响 |
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| 引用本文： | 王玉新,孙景昌,郑亚茹,王晓玉,张焕,戴世飞,朱军.衬底温度对ZnO:N薄膜结构和光学性能的影响[J].光电子．激光,2012(11):2132-2136. |
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| 作者姓名： | 王玉新 孙景昌 郑亚茹 王晓玉 张焕 戴世飞 朱军 |
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| 作者单位： | 辽宁师范大学物理与电子技术学院 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(11004092);大连市科学技术基金(2011J21DW013)资助项目 |
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| 摘 要： | 利用超声喷雾热解方法,以不同的沉积温度(450～510℃)在石英衬底上制备出具备较高光学质量的氮掺氧化锌(ZnO:N)薄膜。通过X射线衍射(XRD)谱研究了薄膜的结构,用扫描电子显微镜(SEM)研究了薄膜的表面形貌,用紫外可见(UV)分光光度计、光致发光(PL)谱对薄膜的光学特性进行了测试分析。结果表明,所制备薄膜在可见波段具有较高透过率,并且沉积温度对ZnO:N薄膜的透过性能有很大影响。在衬底温度为500℃时得到的ZnO:N薄膜为六角纤锌矿结构,结晶质量最好、光透过率最高。PL谱的测试结果显示,在该条件制备的ZnO:N薄膜只在389.4nm处有一个较强的近带边紫外发光峰。
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| 关 键 词： | 氧化锌(ZnO)薄膜 超声喷雾热解 透过率 光学性能 |
Effect of substrate temperature on structure and optical properties of ZnO:N thin films |
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| WANG Yu-xin,SUN Jing-chang,ZHENG Ya-ru,WANG Xiao-yu.Effect of substrate temperature on structure and optical properties of ZnO:N thin films[J].Journal of Optoelectronics·laser,2012(11):2132-2136. |
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| Authors: | WANG Yu-xin SUN Jing-chang ZHENG Ya-ru WANG Xiao-yu |
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| Affiliation: | (School of Physics and Electronic Technology,liaoning Normal University,Dalian 116029,China) |
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